簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "electrophoretic".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="單晶碳化矽"


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    單晶碳化矽晶圓於複線式鑽石線鋸切割製程之導輪磨耗研究
    • 機械工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 賴廷寰 指導教授: 陳炤彰
    •   單晶碳化矽(SiC)為第三代半導體材料之一,其在材料特性上擁有許多項優點,如:「低漏電流特性、較高熱傳導率、耐化學性及寬能隙等」,而其高硬度及耐化學性質造成碳化矽基板製造困難,且在複線式鑽石線鋸…
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    • 全文公開日期 2026/08/29 (校內網路)
    • 全文公開日期 2026/08/29 (校外網路)
    • 全文公開日期 2026/08/29 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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